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진공펌프vacuum pump는 부분 진공을 남길 목적으로 밀폐된 부피로부터 기체 분자를 끌어오는 장치이다, 진공의 압력을 견디기 위해서 상당한 두께와 무게를 가진다, Choose between oillubricated vacuum pumps, dryrunning and waterring pumps. 공정의 특성에 따라 tmp 혹은 cryo 펌프를 선택적으로 사용하게 된다. 진공 펌프 종류진공 펌프는 해당 범위의 진공도 제작에 용이한 저 진공 펌프, 고진공 펌프, 초고진공 펌프로 나뉩니다.
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