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본 발명에 따른 펌프 시스템 및 방법은 진공 챔버1에 연결된 가스 진입 구멍2과, 진공 펌프 시스템sp의 가스 배출부8로 나오기 전에 있는 도관5으로 이어지는 가스 이탈 구멍4을 구비한 스크류 유형의 1차 건식 진공.

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에너지 및 화학설비에서는 부식성 유체와 접촉하는 밸브 부품, 펌프, 진공의 압력을 견디기 위해서 상당한 두께와 무게를 가진다, The diffusion pump oil is heated and boiled, and the gas molecules in the system are continuously brought to the pumps side arm elbow bulb at a high speed from the ejected oil vapor flow.

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